Varian Turbo-V 301 Rack Controller 控制器手册（940-01A）
Varian Turbo-V 301 涡轮分子泵机架式控制器（型号 969-9437 / 969-9537）多语操作手册，手册号 87-900-940-01 (A)，2001 年 7 月版。77 页 = 10 种语言的操作摘要 + 文末英文 Technical Information 完整技术段。本文以英文技术段为准整理。
与已消化的《Varian-TV301-Navigator涡轮分子泵组手册》（946-01A，泵本体）配套：那篇讲泵，本篇讲它的机架控制器。与 Varian-Turbo-V70涡轮分子泵手册、Varian-DS系列双级旋片油泵手册 同属 4800 MALDI-TOF 真空系统文档族。
控制器定位与规格
- 本质：微处理器控制的频率转换器（电子换相驱动），固态元件，自诊断+自保护；以 10 步软启动过程控制 Turbo-V 301 泵升速，按转速闭环调节电压电流。
- 型号即电压：969-9437 = 220 Vac，969-9537 = 120 Vac；换电压靠前面板电源入口模块里的电压选择模块（小螺丝刀拔出切换，含保险丝），不用改接线。
- 关键规格：
- 输入：100/120/220/240 Vac ±10% 单相 47–63 Hz，最大 350 VA
- 输出：标称 75 Vac 三相、963 Hz ±2%、最大 150 W
- 电源保险：2 × T3.15 A 慢断（与电压无关）
- 工作温度 0–40°C；存储 −20~+70°C；重量 4.5 kg
- P1 光耦输入最小导通 3 mA；J2 光耦输出 24 Vdc / 60 mA
- 泵连接电缆 5 m 六线固定于控制器背板：引脚 A-F = 泵温度传感器，B-C-D = 54 Vac 三相输出，E = 接地。
前面板操作（5 键 + 2×16 LCD）
- 按键：LOW SPEED / START-STOP-RESET（同一键）/ CYCLE NUMBER / PUMP CURRENT；CYCLE + PUMP CURRENT 同按 ≥2 秒进入编程模式。
- 编程模式下：CYCLE NUMBER 键改值/选项，PUMP CURRENT 键确认进入下一项；两键再同按 2 秒随时退出。
- 显示参数：
- CYCLE 键：cycle number（0–9999 次）、cycle time（分钟）、pump life（0–99999 小时总寿命）
- CURRENT 键：直流电流（0–2.50 A）、功率（0–999 W）、转速 KRPM（9–75）、上轴承外环温度（0–99°C）
- 转速显示旁反白数字 1▷R1 状态、2▷R2 状态；未达阈值速度时出现设定点条件指示。
三种控制模式与可编程参数
FRONT / REMOTE / RS232 三选一（默认 FRONT）；选了 FRONT 则远程与串口失效。CYCLE NUMBER 和 PUMP CURRENT 两键任何模式下始终有效。编程项（同上述按键组合进入）：
| 参数 | 范围出厂值 | 说明 |
|---|---|---|
| Soft Start | YES（默认） | 10 步升速，最短 75 s 最长约 45 min；取消则 75 s 直上；泵被前级泵烘烤时应取消软启动；仅停泵时可改 |
| Run-up time | 00h08m00s | 启动到阈值速度的时限（按腔体体积/周期设定） |
| Speed threshold | 67 KRPM | R1/R2 继电器切换点，00–99 KRPM |
| Delay even after threshold | YES | R2 是否只在 run-up time 之后才动作 |
| FRONT/REMOTE/232 选择 | FRONT | — |
| 波特率 | 9600 | 600–9600；2400 以上时主机命令最小间隔 1 s，否则控制器死机 |
| RS232 HOST/PRINT | HOST | PRINT = 每分钟单向打印数据（不运行也打） |
| PUMP LIFE 复位 | NO | 复位寿命时 cycle number 一并清零 |
逻辑互连（联锁设计的核心）
P1 逻辑输入（全部用随附 J1 对接插头，出厂 pin3-8 已短接）：
- 1-2 Remote START/STOP：常闭触点，闭合=启动、断开=停机
- 2-7 Remote LOW SPEED：闭合=低速
- 3-8 INTERLOCK：启动前必须闭合，否则显示 PUMP WAITING INTERLOCK；一旦启动成功后再断开不影响运行（只挡启动）
- 4-9 SYSTEM OVERRIDE：紧急停止，任何模式下闭合即停泵及互联设备，显示 SYSTEM OVERRIDE
J2/P2 逻辑输出（均 24 Vdc 60 mA 光耦隔离）：
- 1-9 转速模拟量 0–10 V；1-2 泵直流功率模拟量 2 Vdc/1A
- 4-11 R1：转速高于阈值时有输出（可接前级泵继电器等）
- 5-12 LOW SPEED 指示；6-13 START 指示（到 NORMAL 前）；7-14 R2（受 delay 选项控制）；8-15 FAULT：面板报错时有输出
辅助电源输出：J7 = 120 Vac 1 A（与前级泵线圈/vent 阀等，随 START 有效，注意别超 120 VA、继电器浪涌 ≤65 VA）；P6 = 24 Vdc 150 mA（专用泵冷却风扇）。
运行行为要点
- 断电恢复：控制器自动按正确顺序重启互联设备和分子泵；vent 阀只在断电超过预设延时后才放气。
- 高气载自适应：入口压力高（1 mbar~大气）时泵持续运转，功率升到上限后自动降速至约 9 KRPM，气载下降后自动恢复；任意转速可停可再启，控制器自动同步当前转速再加速。
- Low Speed 模式约 2/3 标称转速（50 KRPM），适用于高压强高气载工况，极限真空略差。
- Soft Start 中电流超 1.4 A 会自动降速保功率。
错误信息速查（复位手法统一：按两次 STOP/RESET 重启）
| 显示 | 含义 | 处置 |
|---|---|---|
| CHECK CONNECTION TO PUMP | 泵-控制器连接故障/未接泵 | 查 5 m 电缆两端 |
| PUMP WAITING INTERLOCK | P1 pin3-8 短接片缺失或外部互锁断开 | 恢复短接/闭合互锁 |
| FAULT: OVERTIME SX | 软启动第 X 步(X=0-9) 15 分钟未到目标转速 | 查漏气 |
| FAULT: PUMP OVERTEMP | 上轴承/泵温 >60°C | 等降温 |
| FAULT: CONTROLLER OVERTEMPERATURE | 控制器变压器 >90°C | 等降温 |
| FAULT: TOO HIGH LOAD | 正常运行电流 >1.5 A 编程值 | 确认转子自由转动 |
| FAULT: SHORT CIRCUIT | 输出短路（>2.2 A） | 查泵-控制器连线 |
| SYSTEM OVERRIDE | 远程急停触点闭合 | 断电排除原因后重上电 |
| OVERVOLTAGE | 电源段故障/干扰 | 反复出现找 Varian |
| CONTROLLER FAILURE | 变压器次级保险断 | 只能返修 |
控制器自检（Power Supply Test）
需真有效值 DVM + 三相假负载（3×48Ω 50W 或 3×78Ω 50W）+ 50KΩ 电位器（调 30KΩ 接入）：
- DC：+5 V ±5%、±12 V ±5%（参考 TP6）；START 按下后 TP4(-)/TP6(+) 间 54 Vdc ±10%；风扇座 24 V ±15%
- 三相输出：泵插头 B-C / B-D / C-D 间 44 Vac ±15%（相间差 ≤1 V）
- 面板空载读数应为：0.00 A / 000 W / 75 KRPM / 25°C ±2°C
RS232 协议摘要（HOST 模式，主从式）
- 8 数据位、无校验、1 停止位；主机=Master。CRC = 前面所有字节之和取负（FF+1−sum），例 “A”(41h) 的 CRC = BFh。
- 单字符命令：A=START、B=STOP、C/D=低速开/关、E=全套参数、F=计数器清零、G=读配置(11字节)、H=写配置(9字节)、I=状态(2字节)、J=数值(5字节：电流/电压/转速/温度)、K=计数器(11字节)。
- 电流电压 0–255 定标（255 = 75 V 满量程 / 2.5 A）。应答 = ACK(06h) / NACK(15h) / 数据串。
- Varian 可提供 QBasic 示例程序。屏蔽线必须端到金属壳，否则不保证 FCC。
附件订货号
J1 输入对接插头 969-9853；P7 对接 969-9854；电源线 969-9957(欧)/969-9958(美)；选件：RS232 套件 969-9851、P2 输出对接 969-9852、泵缆延长 5 m 969-9950。
可行动点（对接 4800 质谱真空系统维护）
- 现场无互锁线时必须保留 J1 pin3-8 短接片，否则永远 PUMP WAITING INTERLOCK。
- 判断控制器好坏可脱泵做假负载自检（第 20 章 Service Guide 的配套电气件）。
- 前级泵由 R1 输出（阈值 67 KRPM）联动，改前级泵联锁逻辑先看 delay 选项。
- 泵烘烤场景记得关 Soft Start。
关联
- Varian-TV301-Navigator涡轮分子泵组手册 — 泵本体手册
- Varian-Eyesys-Mini-BA真空计控制器手册 — 同机真空规控制器
- 4800-MALDI-TOF更换闸阀-ServiceGuide第20章 — 整机服务手册章节