Varian Turbo-V 70 涡轮分子泵手册（860-01D）
来源：云盘 /工作相关/Personnal/2017工作/质谱相关/4800/真空系统/860-01D V70.pdf（44页，多语种合订，英文技术部分在 p23-44）。Varian 手册号 87-900-860-01(D)，2002年4月版。4800 MALDI-TOF 质谱真空系统的泵组资料之一，与 Varian-TV301-Navigator涡轮分子泵组手册 同系列（TV301 是大泵，V70 是小规格）。
产品定位
- Turbo-V 70 系列：高真空/超高真空涡轮分子泵，可抽任何气体，不能抽液体和固体颗粒
- 无油污染设计，适合”清洁真空”场景；涡轮 11 级叶片，最高 75000 rpm，三相电机直驱
- 四个型号只差高真空入口法兰：
- 969-9357 = ISO 63
- 969-9358 = CF 4.5”（外径）
- 969-9359 = KF 40 NW
- 969-9360 = CF 2.75”（外径）
- 必须配 Varian 专用控制器：969-9405 / 9505 / 9507 / 9508 系列，且必须有前级泵
关键技术参数
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 抽速（CF4.5”/ISO63） | N₂ 68 / He 60 / H₂ 45 l/s |
| 抽速（CF2.75”/KF40） | N₂ 45 / He 50 / H₂ 41 l/s |
| 压缩比 | N₂ 5×10⁷，He 4×10³，H₂ 4×10² |
| 极限真空 | 1×10⁻⁹ mbar（DIN 28 428 标准测试罩，48h 后） |
| 前级接口 | KF 16 NW |
| 启动时间 | < 60 秒 |
| 供电 | 54 Vac 三相 1250 Hz |
| 推荐前级泵 | Varian SD-40 机械泵 3 m³/h (1.2 CFM) |
| 冷却 | 自然对流即可；重载用水冷/风冷套件 |
| 冷却水 | 10 l/h，+10~+30°C，2-4 bar；电导率 ≤500 µs/cm，超标可掺≤20%乙二醇 |
| 噪音 / 振动 | 45 dB(A)@1m / 入口法兰处 <0.01 µm |
| 重量 | ISO 版 1.6 kg，CF 版 2.3 kg |
| 储存温度 | -20 ~ +70°C；存放超9个月须 SOFT START 软启动 |
结构与电气要点
- 涡轮：高强度轻铝合金整块加工，叶片 5 种角度（42°→12°），从法兰端看逆时针转
- 轴承：前级侧永久润滑精密陶瓷球轴承；上轴承旁有热敏电阻防过热
- 定子叶片：不锈钢，隔环精确定位
- 电机电源启动时升频按斜坡走（初始 V/f 比更高，减小启动损耗）
- 6 针接口：B/C/D = 三相电源，A/F = NTC 温度传感器（25°C 时 30 KΩ），E = 接地
- 传感器断开 → 泵不启动；温度超 60°C → 自动断电
- 任何安装姿态均可，可靠高真空法兰或底座支撑
安装铁律
- 真空件禁止裸手触摸（防放气污染），必须戴手套
- 贴标和保护盖在连接系统前不拆
- 入口法兰承重：反方法兰须能承受 200 Nm 轴 torque；ISO63 法兰用 4 个双卡 M10（22 Nm）或 4 个单卡 M8（11 Nm）；CF 法兰用 Varian 专用五金
- 底座固定：3 颗 M4 螺钉，强度 ≥500 N/mm²，扭矩仅 0.9 Nm
- 螺母螺栓要对角顺序逐步拧紧至法兰面贴合；拧太紧会使泵壳凹陷导致转子卡死
- CF 2.75” 法兰是 6 个盲孔（易与通孔版本搞混）
- 刚性连接前级管路时，机械泵振动必须用波纹管隔离；机械油泵与前级之间必须加油雾捕集器/冷阱防返油（V70 对油蒸气压缩比也高，油会积累）
使用与烘烤
- 烘烤泵壳：只能运行中且入口压强 <10⁻⁴ mbar 且通水冷时才能加热（加热带型号 969-9801/9802，加热到约 80°C）
- 入口法兰烘烤极限温度：CF 法兰 120°C / ISO 法兰 80°C；系统腔体高温烘烤时法兰侧要加辐射屏蔽
- 吹扫（vent）：只用无尘空气或惰性气体，吹扫口压力 < 2 bar
- 运行中避免撞击/晃动/急动——陶瓷轴承会坏
- 腐蚀性气体须用特殊版本（带吹扫口，惰性气体流量 0.4-1 mbar·l/s）
- 入口滤网（969-9300/9309）挡 >0.7mm 碎屑，代价是抽速降约 10%
维护与返修
- 免维护；任何检修须授权人员
- 动手前：断电 → 开阀放气 → 等转子完全停转 → 等表面温度 <50°C
- 故障返修：填”Health & Safety”表随泵寄回；Varian 拒收生物危害/放射性污染设备，隐瞒有毒暴露的客户承担全部处置费用和责任
- 报废按国家法规处置
附件订货号速查
入口滤网 DN40=969-9309 / DN63=969-9300；加热带 120V=969-9802、220V=969-9801；水冷套件金属=969-9337、塑料=969-9347；风冷风扇套件=969-9310（24Vdc 9l/s）；减振器 DN63 ISO=969-9340（隔振系数约 7）；放气阀 KF NW10=969-9109；延时放气阀 固定延时=969-9833（防 5 秒内瞬时断电）、可调延时达 36 分钟=969-9831；底座套件=969-9326。
可行动点（4800 维护场景）
- 现场换 TV301/V70 类小泵时，先核对入口法兰型号选对卡箍/五金，扭矩按表（22/11/0.9 Nm 三级）
- 控制器报温度错先查 6 针 A/F 传感器线是否松（断开=不启动）
- 长期停机的泵重启前先软启动模式跑一遍
- 前级泵油雾是涡轮泵寿命头号杀手，mist eliminator 必装必查
关联：Varian-TV301-Navigator涡轮分子泵组手册、4800-MALDI-TOF更换闸阀-ServiceGuide第20章、4800-MALDI-TOF-TOF进样系统组件与维修程序