概要
Varian Vacuum Technologies《Eyesys Mini-B/A Gauge Controller 使用手册》（手册号 699908205 Rev H，2002-11，42 页）。Eyesys Mini-BA 是微型 Bayard-Alpert 电离真空计整套测量系统（规管 + 控制器），属于 4800 MALDI-TOF 真空系统的部件资料（云盘存放于 4800/真空系统/ 目录）。
系统规格（要点）
| 参数 | 值 |
|---|---|
| 量程 | 1.3e-2 mbar (1e-2 Torr) 至 2.7e-9 mbar (2e-9 Torr) |
| 供电 | 24 VDC ±10%，0.5 A |
| 模拟输出 | 1–9 V，对数，1 V/十倍程，输出阻抗 100 Ω |
| 设定点继电器 | 2 路常开 SPST，40 VDC / 100 mA |
| Degas | 4 W 电子轰击，15 分钟定时 |
| 超限耐压 | 130 kPa（1000 Torr，即大气压）；超过 1e-2 Torr 禁止开启发射 |
| I/O | 15 针 D-sub |
| 选项 | 显示（无/条形图/数字）×串口（RS-232/422/485）×接头（NW16 KF/NW25/1.33” CFF） |
规管为全金属内置接地设计，无需规管到腔体的额外接地线。
模拟电压读数的换算（集成方最常用）
- 电压 V 对应压力：Torr = 10^(V-10)；Pa = 1.33 × 10^(V-8)；mbar = 1.33 × 10
- 边界值：0.5 V = 低于量程下限；10 V = 发射关闭或错误 5/6/8/9
- RS-422 选项时无模拟压力输出
数字接口约定
- 控制输入（Degas ON/OFF、Emission ON/OFF）：TTL，常态高=OFF，拉低=ON；自动关断（错误/超时）后必须先把控制线置 OFF 再重新 ON（可清错误）
- 状态输出：TTL，高=ON
- Local/Remote 模式：按钮与控制输入仅 Local 模式可用；串口可设气体修正因子、设定点等
错误码（LED 闪烁数量 = 错误号）
| 错误 | 含义 | 处置 |
|---|---|---|
| E05 | 灯丝开路 | 输出钉在 10 V、立即关发射；通常需换规管（灯丝=管座最外圈两针，可测通断） |
| E06 | 栅极电压低 | 瞬时辉光放电所致可重启恢复；持续则栅极电源返厂 |
| E08 | 板间通信故障 | 主 CPU 连续 5 次收不到子板数据；仅通信恢复才清除 |
| E09 | 超压 | 压力 > 1e-2 Torr 自动关发射（放气持续 > 5 秒才触发） |
| Checksum | EEPROM 校验错 | 反复开机自愈则无事；持续则出厂校准因子丢失，精度略降需返厂；期间串口远程设置不保存 |
清错误动作：按 Emission ON/OFF 按钮（或拉低 Emission 控制线）。
气体修正因子
修正压力 = 原始读数 ÷ 修正因子（表值来自 NASA TN D-5285, Summers 1969）。可通过串口命令写入因子自动换算，显示/模拟输出/串口输出均应用修正值。
安全与安装注意
- 电离规不是本安设备：热灯丝/冷阴极高压放电可点燃可燃气混合气，涉可燃气系统禁止开启
- 真空清洁纪律：禁用硅油/硅脂（推荐 Apiezon L，号 695400004），戴无粉丁基/聚碳酸酯手套；铝件禁用 Alconox 清洗
- EMC：必须用编织屏蔽线 + 金属后壳，屏蔽层在用户设备端接地，否则超标
- 安装类别 II、污染等级 2、海拔 ≤2000 m、室内使用
对 4800 维修的意义
- 4800 源区（source region）真空规读数若来自此控制器：模拟线 1 V/十倍程直接换算，10 V = 规管关闭（不代表真实真空度），排查真空故障时先排除”发射关闭被误读为高真空”的情况
- 大气放气后需等压力降到 1e-2 Torr 以下才能重新开电离规，否则报 E09