Varian TV70 Navigator 涡轮分子泵控制器

概述

TV70 Navigator 是 Varian（现 Agilent）公司生产的涡轮分子泵控制器，适用于 Turbo-V70/D/LP 系列泵。该控制器采用固态频率转换器设计，由单片微型计算机驱动。

技术规格

参数	值
转速	75 Krpm（默认和最大值）
启动时间	< 2分钟
输入电压	100-240 Vac
输入频率	50-60 Hz
最大输入功率	200 VA
待机功率	10 W
最大输出功率	75W（正常风冷/水冷）/ 100W（ ramp 风冷/水冷）
24Vdc 输入	24 Vdc（20-28 Vdc）
最大输入功率	200 W
保护保险丝	4A（Line型）/ 8A（24Vdc型）

接口连接

P3 - Vent（排气阀）

专用 24Vdc 连接器，用于控制可选排气阀。

P4 - External fan（外风扇）

专用 24Vdc 连接器，用于供电可选外风扇。

J5 - IN-OUT（输入输出）

15针 D 型连接器，承载所有输入输出信号：

START/STOP（启动/停止）
INTERLOCK（互锁）
SPEED SETTING（速度设定）
SOFT START（软启动）
+24Vdc、SPARE、PROGRAMMABLE SET POINT、FAULT OUTPUT、PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL

P2 - Serial（串行通信）

9针 D 型串行输入输出连接器，支持 RS232/RS485。

通信协议

格式

8 数据位
无校验
1 停止位
波特率：600/1200/2400/4800/9600 可编程

消息结构

<STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC>

窗口编号

100：软启动状态
101：设定点类型（频率/电流/时间）
102：设定点阈值
103：设定点延迟时间
104：设定点激活类型
105：设定点迟滞
106：水冷模式
107：主动停止
108：波特率
109：泵寿命/周期时间/周期数复位
117：低速频率
120：旋转频率设定
121：最大旋转频率
200-206：泵状态和错误代码
300-302：运行时间和循环计数
503-504：RS485 地址和串行类型选择

应用领域

真空系统设计
质谱仪配套
半导体制造
薄膜沉积

注意事项

避免在强磁场环境中使用，磁场会在转子中产生涡流，增加功耗
环境温度：0°C 到 +40°C
存储温度：-20°C 到 +70°C