Nano-ZL 纳米位移台操作手册
来源：Mad City Labs, Inc. Nano-ZL Series 操作手册（2014年版） 云盘路径：/工作相关/共聚焦项目相关工作文档/01 位移台/MCL/Nano-ZL Manual (2014).pdf
产品概述
Nano-ZL 系列是压电陶瓷（PZT）驱动的线性纳米定位台，具有 exceptional resolution and stability。台面中心有通孔，适合透射光束或显微成像应用。配备位置敏感探测器，支持闭环控制。
规格参数
| 参数 | Nano-ZL100 | Nano-ZL500 |
|---|---|---|
| 行程 | 100 μm | 500 μm |
| 电压范围 | -20V ~ +165V | -20V ~ +165V |
| 共振频率（空载） | 250 Hz | 250 Hz |
| 刚度 | 1.0 ± 20% N/mm | 1.0 ± 20% N/mm |
| 最大负载 | 1 kg | 1 kg |
| 电缆长度 | 6 ft | 6 ft |
| 接口 | DB-9 | DB-9 |
安全警告
高压危险：驱动器可产生危险电压和电流。压电陶瓷具有大电容，可长时间储存危险电量。
操作前必须：
- 将命令电压设为 0.0V
- 关闭 Nano-Drive AC 电源
- 等待一分钟让 PZT 放电后再断开 DB-9 连接器
禁止：
- 拆解 Nano-ZL（内部无用户可维护部件）
- 带电插拔连接器
- 对移动台施加扭矩
搬运与安装
搬运注意事项
- 始终握持底部框架外侧
- 不要推动 Z 轴台面
- 不要通过电缆提起
- 避免跌落、撞击或物理冲击
安装方式
方式一：无固定
- 直接放置于所需位置
- 自身重量足以在大多数扫描应用中保持稳定
方式二：C型沉孔固定
- 使用 ¼”-20 或 M6 socket screws
- 安装面必须平整干净
- 最大扭矩：0.5 Nm
安装前准备
- 确保安装面清洁、平整、无毛刺
- 用无绒布擦拭 Nano-ZL 底部，去除颗粒和灰尘
- 始终从底部提起 Nano-ZL
- 通电前不要安装、组装或拆解
- 重要：检查与安装面之间的接地回路（见下文）
接地回路（Ground Loops）
接地回路是纳米定位系统最大威胁。接地回路可导致：
- 噪声引入
- 严重振荡（可能永久损坏压电陶瓷）
检测方法
- 使用 DVM（数字万用表）检测
- 使用双通道示波器差分模式检测
预防方法
方法一：绝缘隔离
- 在 Nano-ZL 和安装面之间垫 Mylar 或纸张
- 使用非导电安装螺丝
方法二：接地连接
- 将 Nano-Drive 接地连接到安装面
- Nano-ZL 直接连接至 Nano-Drive 接地
- Nano-Drive 外壳也处于接地电位
禁止：在 Nano-Drive 外壳螺丝和安装面之间连接接地线（可能短路接地回路）
紧急处理
如发现异常振荡：
- 立即关闭系统电源
- 查找接地回路来源
- 如问题持续，联系 Mad City Labs 技术支持
闭环操作
Nano-ZL 配合 Nano-Drive 实现闭环控制，消除蠕变和滞后效应，位置保持在命令位置。
操作步骤
- 按第二节安装 Nano-ZL
- 关闭 Nano-Drive 电源
- 将命令信号设为 0.0V（模拟或数字接口）
- 连接 9 针 D 型连接器到 Nano-Drive 对应轴，拧紧螺丝
- 打开电源开关
- 命令电压现在控制 Nano-ZL 位置
重要
- 不要在通电状态下断开 9 针连接器
- 断开前先设命令电压为零，关闭电源
- 等待一分钟让 PZT 放电
操作维护
- 确保移动台或附件无物理约束
- PZT 电压不得超过 165V 或低于 -20V
- 保持工作环境清洁，防止颗粒进入 EDM 加工沟槽
- 清洁时用稍湿润的无绒布蘸异丙醇或乙醇轻擦表面
- 不要浸入液体
制造商信息
Mad City Labs, Inc. 2524 Todd Drive, Madison, WI 53713, USA Tel: (608) 298-0855 Fax: (608) 298-9525 Email: sales@madcitylabs.com Website: www.madcitylabs.com
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