CT-100 活性粗糙真空规管使用手册
核心概述
CT-100 是 Vacuum Technologies（现 Varian）生产的活性粗糙真空规管，用于测量低真空到中高真空范围内的压力（1×10⁻⁴ 至 1000 Torr）。输出 1-9VDC 模拟信号，支持两个可编程设定点报警。
规格参数
- 测量范围：1×10⁻⁴ ~ 1000 Torr（1.33×10⁻² ~ 1.33×10⁵ Pa）
- 输出信号：1-9 VDC（线性对应压力）
- 设定点输出：两个开集电极输出，可驱动继电器（最大 100mA，30VDC）
- 电源：24 VDC
- 真空接口：1/8” NPT
- 连接器：9-pin D-subminiature
引脚定义
| 引脚 | 功能 |
|---|---|
| 1 | Relay #2 N.O. |
| 2 | Relay #1 N.O. |
| 3 | Power Input (+24 VDC) |
| 4 | Power Ground |
| 5 | Analog Output (压力→电压) |
| 6 | Relay Common |
| 7 | Setpoint #2 Output |
| 8 | Signal Ground |
| 9 | Setpoint #1 Output |
校准方法
大气压校准（适合中高真空精度优先）
- 连接规管至真空系统（无需抽真空）
- 连接24V电源和电压表（接 pin 4 和 pin 5）
- 预热30分钟
- 调节 CAL 电位器使电压表读数为：
- 空气/N₂：8.255 VDC
- 氩气：6.783 VDC
高真空校准（适合低真空精度优先）
- 连接精密规管，达到 1×10⁻⁵ Torr 或更低
- 调节 CAL 电位器使输出电压为 1.000 VDC
中间压力校准
参考校准曲线图或数据表，用线性插值确定目标压力对应的电压值，再调节 CAL 电位器。
设定点调整
- 通过前面板 screwdriver-adjust 电位器设置两个报警阈值
- 可用电压表精确测量（pin 7/9 对应设定点2/1）
- 面板刻度提供近似压力标记：ATM→1→10→100mT→1mT→VAC
注意事项
- 安装时真空端口必须朝下以获得最佳精度
- 使用屏蔽电缆，屏蔽层接地于电源端
- 驱动继电器时需加续流二极管（1N4001）防止反电动势
- 传感器是唯一用户可更换部件，其他维修需专业人员进行
- 清洁时使用酒精或丙酮，彻底去除残留后吹干
兼容泵
SH-100 Dry Scroll、TriScroll TS-300/320/600/620、旋转叶片泵、涡轮分子泵、扩散泵
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