CT-100 粗真空计规格说明
基本信息
- 产品名称: CT-100 Active Rough Vacuum Gauge
- 制造商: Varian Vacuum Technologies
- 云盘路径: /工作相关/Personnal/2017工作/质谱相关/4800/真空系统/CT-100_DS1316.pdf
- 文件大小: 856 KB
- 页数: 4 页
- 处理日期: 2026-09-20
核心特点
1. 多功能性
- 每个传感器提供两个用户定义设定点，可触发多个工艺步骤、报警或其他压力相关条件
- 可选压力范围，在用户最关键的区域提供准确重复的读数
- 运行范围覆盖全粗真空谱段：1×10⁻⁴ Torr 到 100 Torr（1.33×10⁻⁴ 到 133 mbar；1.33×10⁻² 到 1.33×10⁴ Pa），最高可测至大气压
2. 高可靠性
- 长效感应元件设计比典型真空计厚三倍
- 最小化对工艺振动、冲击和冷凝物的敏感性
3. 成本效益
- 坚固的感应元件带来更长寿命和更高重复性
- 比传统皮拉尼真空计更经济
4. 快速响应
- 单点校准功能保持传感器精度
- 皮拉尼式响应时间仅 0.2 秒，适合对时间敏感的高速工艺步骤
技术参数
| 参数 | 规格 |
|---|
| 压力范围（出厂设置） | 1×10⁻⁴ 到 100 Torr，可测大气压 |
| 压力范围（可选用户设置） | 20 mTorr 到大气压 |
| 响应时间 | 0.2 秒 |
| 继电器响应时间 | <1 毫秒 |
| 工作温度 | 15°C 到 50°C，90% 相对湿度无冷凝 |
| 存储温度 | -15°C 到 85°C |
| 重量 | 113 克 |
| 接口 | 9针 D-Sub |
应用领域
分析仪器应用
- 质谱仪和表面分析设备的理想选择
- 单个传感器上的两个设定点节省系统成本和空间
工业应用
电气规格
- 输入电压/电源：13-30 VDC @ 0.125 AMP，防反接保护
- 输出信号（模拟）：非线性，1-9 VDC，标称值
- 故障输出：阻抗 <100 欧姆
- 认证：CE、UL认可、cUL认可
关联知识