4352722 - Turbo Foreline Valve规格说明书
核心内容
MKS Instruments HPS® Electromagnetic Cv™ (ECv) 阀门规格说明书。这是一款紧凑型高导通电磁真空阀门，用于高真空工艺应用。
关键特点
- 电磁驱动：直流电（VDC）驱动，无需气动系统或瓶装气体
- 线圈节能电路：最小化发热、降低功耗，适合温度敏感应用
- 快速安静执行：“Quick and quiet”电动执行附件，低振动
- 长寿命：在高清洁条件下超过100万次循环
- 灵活配置：常开或常闭配置可选，可 retrofit 到任何气动或手动Cv阀
技术规格
| 参数 | 值 |
|---|---|
| 电压要求 | 12VDC / 24VDC |
| 电流（初始/运行） | 12VDC: 2.6A / 0.6A; 24VDC: 1.3A / 0.3A |
| 线圈功率 | 32W (初始) / 7W (运行) |
| 响应时间 | 60 msec |
| 爆破压力 | N/C 35 psi, N/O 50 psi |
| 真空范围 | 大气至低于10⁻⁹ Torr |
| 氦气泄漏测试 | < 1.0 × 10⁻⁹ std cc/sec |
| 典型重量 | 38.7 oz (1090 g) (angle KF25) |
| 湿体积 | 1.09 in³ (17.8 cm³) (Angle KF16) |
| 工作温度 | -26°C 至 60°C |
| 最高烘烤温度 | 150°C (移除线圈后) |
| 寿命周期 | 1,000,000 cycles |
应用场景
- 泵系统、便携式真空平台、台式分析系统
- 温度敏感的仪表隔离
- cabinets或其他非通风区域的安装
- 敏感分析仪器中的低振动应用
材料规格
- 阀体：304不锈钢（耐腐蚀、非磁性）
- 波纹管：321不锈钢
- 密封圈选项：镍、铜（标准）；Kalrez、硅胶、Viton、Chemraz（可选）
可行动点
- 适用于4800质谱仪前级阀替换参考
- 需关注工作温度上限60°C，注意散热设计
关联
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