title: DS 102 双级旋片真空泵规格说明书 source: 真空系统零件规格 author: Varian size: 160.9 KB pages: 2 date: 2004-10-13 original_path: /工作相关/Personnal/2017工作/质谱相关/4800/真空系统/4346972 - Varian DS102 Spec - Rev A.pdf processed_date: 2026-09-19 method: PDF文本提取 status: done tags: [质谱, 真空系统, Varian, DS102, 旋片泵] related: [“4352722 SPEC - Turbo Foreline Valve”, “4349192 Rev A - DE Switch Box - Specification”]

DS 102 双级旋片真空泵规格说明书

概述

Varian DS 系列双级旋片真空泵,用于质谱仪真空系统的粗抽空阶段(前级泵)。

型号与规格

参数DS 102DS 202DS 302DS 402DS 602DS 1002DS 1602
自由空气排量 (60Hz)114 l/min192285410504605842
抽速 (cfm)3.55.88.212.318.33151
极限总压2×10⁻³ mbar同左同左同左同左同左同左
极限分压10⁻⁴ mbar同左同左同左同左同左同左
油容量 (min/max)0.2/0.5 L0.25/0.60.25/0.60.5/10.5/12.3/3.13.5/4.5
电机功率 (1ph)0.45/0.55 kW同左同左0.75/0.900.75/0.90——
重量22 kg25 kg25 kg35 kg35 kg62 kg102 kg
进口法兰DN25KF同左同左同左同左DN40KFDN40KF

订购信息

配件部件号
旋片油 GP型 1L9499390
油雾消除器 (DS102-602)9499395
油雾滤芯替换装(2个)9499394
NW25 排气过滤器9499392
NW40 排气过滤器9499393
最小维护套件 (DS102-302)9499370
最小维护套件 (DS402-602)9499371
最大维护套件 (DS102)9499380
最大维护套件 (DS202/302)9499381

应用场景

在 4800 质谱仪中,DS 系列泵可能作为涡轮分子泵的前级泵使用。涡轮前级阀(4337769)规格表中提到了与此类配置相关的接口尺寸。

行动点

  • 如需更换或维护 4800 前级泵,查阅此规格表确认型号和备件号
  • 油雾消除器为耗材,注意定期更换